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과학 문헌에서 발굴한 것: 재료과학에서 원자층 증착과 이탈 처리를 위한 프로세스 스키마

AI 자동 생성

arXiv:2609.12139v1 발표 형식: 새로운 abstract: 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD)과 원자층 에칭(Atomic Layer Etching, ALE)은 재료 과학에서 실험과 시뮬레이션 문헌에서 공통적으로 보고되지만, 비교와 기계가 작동할 수 있는 재사용을 방해한다. 우리는 ALD와 ALE 실험 및 시뮬레이션 과정에 대한 네 개의 도메인 전문가 검토한 JSON 스키마를 제시한다. 스키마 마이너(schema-miner)와 QUDT를 기반으로 스키마 마이너 프로(schema-miner pro)를 사용하여 스키마는 재료, 공정 조건, 설정 및 측정되거나 예측된 결과를 구조화한다. 우리는 그들의 범위, 구조 및 의미적 기반을 비교하고, 스키마 지시된 문헌 추출과 ORKG 템플릿을 통해 구조화된 레코드를 발행하는 데 그들의 사용을 보여준다.

원문 보기 arXiv AI

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